| 发明名称 | 高密度矩形深刻蚀石英光栅 | ||
| 摘要 | 一种用于常用波段1.55微米光纤通信的密集波分复用器件的高密度矩形深刻蚀石英光栅，其特征在于该光栅的线密度为600～700线/毫米，光栅的深度为2.8～3.1微米，光栅的占空比为1/2。本发明可以同时使TE、TM偏振方向的+1级布拉格透射衍射效率实现高于83％的结果，本发明矩形刻蚀石英光栅由微电子光刻工艺、深刻蚀工艺加工而成，可以低成本、大批量生产。 | ||
| 申请公布号 | CN1564050A | 申请公布日期 | 2005.01.12 |
| 申请号 | CN200410017063.4 | 申请日期 | 2004.03.19 |
| 申请人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明人 | 周常河;张妍妍 |
| 分类号 | G02B27/44;H04B10/12;H04J14/00 | 主分类号 | G02B27/44 |
| 代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人 | 张泽纯 |
| 主权项 | 1、一种用于常用波段1.55微米光纤通信的密集波分复用器件的高密度矩形深刻蚀石英光栅，其特征在于该光栅的线密度为600～700线/毫米，光栅的深度为2.8～3.1微米，光栅的占空比为1/2。 | ||
| 地址 | 201800上海市800－211邮政信箱 | ||