氮化钒的制备方法及其装置

摘要

本发明涉及一种氮化钒的制备方法及其装置，更具体的说是涉及采用流态化床技术制备氮化钒的工艺方法以及相应的制备专用装置，属化学化工技术领域。其特征在于通过射频感应，在流态化床反应区内产生等离子体，也即将反应气体氨、氮和氢气体激发电离而生成活性氢和氮粒子，并使该活性粒子与悬浮在流态化区的氧化钒颗粒发生还原和氮化反应而生成氮化钒。本发明方法的专用装置主要包括流态化床、射频感应线圈、射频电源、加热器、供气罐、气流分布器，抽气系统，另外有气阀和控制调节反应气体流量的总气阀及其管路系统。

主权项

1.一种氮化钒的制备方法，主要采用流态化床工艺技术，其特征在于通过射频感应，在流态化床反应区内产生等离子体，也即将反应气体氨、氮和氢气体激发电离而生成活性氢和氮粒子，并使该活性粒子与悬浮在流态化区的氧化钒颗粒发生还原和氮化反应而生成氮化钒；射频电源的射频范围为3MHz-13.45MHz；反应气体为氨、氢、氮的混合气体；氨的浓度范围为60-100％。