强流氧离子注入机的晶片自转动装置

摘要

本发明为一种强流氧离子注入机的晶片自转动装置，包括正面有多个晶片放置位置的靶盘7，所述靶盘7的各晶片放置位置的中心部位有安装了滚珠轴承2、8的贯通轴孔9，对应于晶片放置位置的靶盘1的后部装有微型电动机1且其电动机转轴6装在所述贯通轴孔9的相应滚珠轴承2上并同装有滚珠轴承8的硅衬转盘轴5的一端相连接，该硅衬转盘轴5的另一端同安装在靶盘正面用于放置晶片3的硅衬转盘4中心部位相连接。应用本发明可以使强流氧离子注入机的晶片剂量均匀性达到≤1％，很好地克服了已有技术晶片注入剂量不均匀、颜色特征不一致的问题，从而得到均匀性好的晶片。

主权项

1、一种强流氧离子注入机的晶片自转动装置，包括正面有多个晶片放置位置的靶盘7，其特征是，所述靶盘7的各晶片放置位置的中心部位有安装了滚珠轴承2、8的贯通轴孔9，对应于晶片放置位置的靶盘1的后部装有微型电动机1且其电动机转轴6装在所述贯通轴孔9的相应滚珠轴承2上并同装有滚珠轴承8的硅衬转盘轴5的一端相连接，该硅衬转盘轴5的另一端同安装在靶盘正面用于放置晶片3的硅衬转盘4中心部位相连接。