一种脉冲高能量密度等离子体的发生装置

摘要

本实用新型涉及一种脉冲高能量密度等离子体的发生装置，该装置包括：同轴等离子枪、脉冲电磁阀和RLC充放电电路，所述的同轴等离子枪的管状外电极和柱状内电极分别通过绝缘的密封通道同轴地与脉冲电磁阀联接，所述内电极与一RLC充放电电路连接，该RLC充放电电路与脉冲控制电路连接，所述的内电极是由金属溅射材料制成的柱状电极，该内电极中还布置有水冷通道，其靠近脉冲电磁阀的端口处开有进水口和出水口，分别与进水管、出水管相连。本实用新型在同轴等离子枪的内电极中布置了水冷通道后，利用水冷处理降低金属内电极的温度，保证金属内电极不会因为温度过高而变形，因此，相应地提高了同轴等离子枪的溅射功率。

主权项

1、一种脉冲高能量密度等离子体的发生装置，该装置包括：同轴等离子枪、脉冲电磁阀和RLC充放电电路，所述的同轴等离子枪的管状外电极和柱状内电极分别通过绝缘的密封通道同轴地与脉冲电磁阀联接，所述内电极与一RLC充放电电路连接，该RLC充放电电路与脉冲控制电路连接，其特征在于，所述的内电极是由金属溅射材料制成的柱状电极，该内电极中还布置有水冷通道。