发明名称 提高TiO<SUB>2</SUB>光电池光电转换效率的方法
摘要 本发明是一种用气体(如Ar、He、N<SUB>2</SUB>、N<SUB>2</SUB>+H<SUB>2</SUB>)射频等离子体对TiO<SUB>2</SUB>纳米晶进行处理,来提高TiO<SUB>2</SUB>光电池光电转换效率的方法,该方法是:将纳米二氧化钛放入射频等离子体发生装置中,抽真空后,至少通入下列气体之一:Ar、He、N<SUB>2</SUB>、N<SUB>2</SUB>+H<SUB>2</SUB>,到射频等离子体发生装置中,调节气体流速0.01~0.90升/分、射频功率为50~1000W、温度为100-550℃及处理时间为0.5~10小时,即得到所需产品。处理后的TiO<SUB>2</SUB>纳米晶比未处理的TiO<SUB>2</SUB>纳米晶具有更好的光电转换性能,其光电转换效率可提高30%~80%。
申请公布号 CN1564329A 申请公布日期 2005.01.12
申请号 CN200410012890.4 申请日期 2004.03.24
申请人 武汉大学 发明人 王取泉;韩俊波;周慧君;于国萍;魏正和;周正国;钟家柽
分类号 H01L31/18;H01L31/04 主分类号 H01L31/18
代理机构 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 代理人 朱必武
主权项 1、一种提高TiO2光电池光电转换效率的方法,其特征在于:将纳米二氧化钛放入射频等离子体发生装置中,抽真空后,通入下列气体之一:Ar、He、N2、N2+H2,到射频等离子体发生装置中,调节气体流速0.01~0.90升/分、射频功率为50~1000W、温度为100-550℃及处理时间为0.5~10小时,即得到所需产品。
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