发明名称 Spring loaded bi-stable mems switch
摘要
申请公布号 GB0427254(D0) 申请公布日期 2005.01.12
申请号 GB20040027254 申请日期 2003.05.09
申请人 SUPERCONDUCTOR TECHNOLOGIES INC 发明人
分类号 B81B3/00;H01H1/00;H01H1/26;H01H50/00;H01H50/32;H01H50/60;H01H51/10;H01H57/00;H01H59/00;H01H61/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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