一种氧化物巨磁电阻薄膜的制备方法

摘要

本发明涉及一种的氧化物巨磁电阻薄膜的制备方法。其特征在于采用摩尔浓度为0.1摩尔/升至0.5摩尔/升的金属有机物溶液、按摩尔体积比例配制成均匀的目标溶液后，用旋转甩胶制备湿膜。再经100-650℃前烘和700-1000℃烧结后，制备成钙钛矿结构的氧化物巨磁电阻薄膜。所制成的巨磁电阻薄膜的结构为A_xB_1-xCO_y，其中0＜x＜1，1＜y≤10。本方法具有工艺简单，重复性好，大面积均匀，成本低，衬底价格低廉和设备要求不高等特点。该巨磁电阻薄膜具有输出信号大，室温下电阻率随外磁场呈线性变化等特性，适合于制备磁敏器件和自旋极化三极管等。

主权项

1.氧化物巨磁电阻薄膜的制备方法，包括衬底选择，衬底有机化学溶剂清洗和去离子水清洗，目标溶液的配制、旋转甩胶、湿膜的前烘干和烧结，其特征在于：(1)所制备的巨磁电阻薄膜的结构式为AxB1-xCOy，其中0＜X＜1，0＜Y≤10，A为IIIB族三价元素或镧系稀元素或两种三价元素的百分组合，B为三价元素或两种二价元素的百分组合；C为呈三价或/和四价的元素或两种呈三价或/和四价态的元素的百分组合；(2)采用的衬底材料是抛光石英玻璃、抛光Si片或Al2O3陶瓷片；起始溶液为二价元素、三价元素、呈三价或/和四价元素的金属有机物分解溶液，按上述(1)中结构式配料，它们的摩尔浓度均在0.1-0.5摩尔/升之间，在净化工作台中按摩尔体积比例配制成所需的目标溶液后，用旋转甩胶法制备湿膜，湿膜前烘温度在100-650℃之间，烘干后700-1000℃烧结而成。