一种片上LC无源低通滤波器及其制备方法

摘要

一种基于氧化多孔硅/多孔硅的片上LC无源低通滤波器及其制备方法，该滤波器含片上微电感、片上MIM电容、片上共面波导传输线和复合衬底，复合衬底由氧化多孔硅薄膜、多孔硅层和低阻硅片组成，多孔硅层夹在氧化多孔硅薄膜和低阻硅片之间，由片上微电感、片上MIM电容和片上共面波导传输线组成的片上LC无源低通滤波电路依附在氧化多孔硅薄膜上，用与CMOS工艺兼容的工艺制作而成，有体积小，易于制造，生产成本低，能与现今的CMOS工艺相兼容，在通带内衬底插入损耗小的优点。

主权项

1、一种基于氧化多孔硅/多孔硅的片上LC无源低通滤波器，含片上微电感(7)、片上MIM电容(8)、片上共面波导传输线(12)，其特征在于，它还含复合衬底(11)，复合衬底(11)是由氧化多孔硅薄膜(4)、多孔硅层(5)和低阻硅片(6)组成，多孔硅层(5)夹在氧化多孔硅薄膜(4)和低阻硅片(6)之间，由片上微电感(7)、片上MIM电容(8)和片上共面波导传输线(12)组成的片上LC无源低通滤波电路依附在氧化多孔硅薄膜(4)上。