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发明名称
A THIN FILM RESONANT MICROBEAM ABSOLUTE PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号
EP0950171(B1)
申请公布日期
2005.01.12
申请号
EP19970947554
申请日期
1997.11.17
申请人
HONEYWELL INC.
发明人
HERB, WILLIAM, R.;BURNS, DAVID, W.
分类号
G01L9/00;(IPC1-7):G01L9/00
主分类号
G01L9/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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