发明名称 DEVICE AND METHOD FOR POSITIONING A PLATE-TYPE SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP1495488(A2) 申请公布日期 2005.01.12
申请号 EP20030746222 申请日期 2003.04.01
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 EISINGER, DIRK;ZOLLER, MARC
分类号 H01L21/00;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
地址