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发明名称
DEVICE AND METHOD FOR POSITIONING A PLATE-TYPE SUBSTRATE
摘要
申请公布号
EP1495488(A2)
申请公布日期
2005.01.12
申请号
EP20030746222
申请日期
2003.04.01
申请人
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
发明人
EISINGER, DIRK;ZOLLER, MARC
分类号
H01L21/00;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/00
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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