| 发明名称 |
Apparatus for the integrated processing of defect images |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0974831(B1) |
申请公布日期 |
2005.01.12 |
| 申请号 |
EP19990304142 |
申请日期 |
1999.05.27 |
| 申请人 |
TOSHIBA ENGINEERING CORPORATION |
发明人 |
FUJITA, MINORU |
| 分类号 |
G06T5/20;G01N21/896;(IPC1-7):G01N21/88;G06T7/00 |
主分类号 |
G06T5/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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