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发明名称 Method of vacuum vaporization of metals
摘要
申请公布号 EP0969115(B1) 申请公布日期 2005.01.12
申请号 EP19970204158 申请日期 1997.05.05
申请人 UNITED TECHNOLOGIES CORPORATION;INTERNATIONAL CENTER FOR PATON INSTITUTE 发明人 MOVCHAN, BORIS B;KORTH, ALEXANDER V.;TOPAL, VALERY
分类号 C23C14/24;C23C14/30;(IPC1-7):C23C4/00 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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