一种金属薄带厚度的测量方法及测量装置

摘要

本发明公开了一种金属薄带厚度的测量方法及测量装置。将被测金属薄带放置在两个迈克尔逊干涉仪之间，被测金属薄带的两个对应表面分别作为每个干涉仪中的一个反射面；这两个迈克尔逊干涉仪串联组成差分干涉系统；一个低相干度光源经第一传光系统照射至第一个迈克尔逊干涉仪，第一个迈克尔逊干涉仪的输出光经第二传光系统作为光源照射至第二个迈克尔逊干涉仪，第二个迈克尔逊干涉仪的输出光经第三传光系统被光电接收器接收，经信号处理器处理得被测薄带的厚度。本发明这种差分测量方法具有测量灵敏度高，抗振动等优点。适合那些不透明，两面都有较高光学反射率、无基底支撑或透明基底支撑的极薄带材的厚度测量。

主权项

1.一种金属薄带厚度的测量方法，其特征在于：将被测金属薄带放置在两个迈克尔逊干涉仪之间，被测金属薄带的两个对应表面分别作为每个干涉仪中的一个反射面；这两个迈克尔逊干涉仪串联组成差分干涉系统；一个低相干度光源经第一传光系统照射至第一个迈克尔逊干涉仪，第一个迈克尔逊干涉仪的输出光经第二传光系统作为光源照射至第二个迈克尔逊干涉仪，第二个迈克尔逊干涉仪的输出光经第三传光系统被光电接收器接收，经信号处理器处理得被测薄带的厚度。