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发明名称 DEPOSITION METHODS UTILIZING PHASED ARRAY MICROWAVE EXCITATION, AND DEPOSITION APPARATUSES
摘要
申请公布号 EP1495156(A2) 申请公布日期 2005.01.12
申请号 EP20030716936 申请日期 2003.03.31
申请人 MICRON TECHNOLOGY, INC. 发明人 CARPENTER, CRAIG, M.;DANDO, ROSS, S.;CAMPBELL, PHILIP, H.
分类号 C30B25/10;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/511;H01J37/32;H01L21/205;H01Q21/00;(IPC1-7):C23C16/511;C23C16/40;C23C16/34 主分类号 C30B25/10
代理机构 代理人
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