控制被检查体温度的探测装置及探测检查方法

摘要

提供在温度控制下对被检查体进行检查的探测装置(100)。该探测器具有台架基底(2)、Z台架(10)、具有框状结构的X－Y台架(12)、配置在X－Y台架上的基板固定机构(23)、与基板固定机构对置配置的探测器插件(14)、固定在Z台架上、其轴心与从探测器插件的探测器中心所垂下的延长线相一致地配置在X－Y台架的框状结构内的探测台架(3)，该探测台架具备有用于加热及冷却被检查体的温度控制装置及探测升降机构，从底面支撑被检查体基板，对被检测体的温度进行控制。

主权项

1.一种探测装置，在温度控制下检查在晶片状基板上配置的多个被检查体，该探测装置具有：探测室；在该探测室内配置的台架基底；在该台架基底上配置的X-Y台架，该X-Y台架具备用于使该X-Y台架至少在X-Y方向移动的X-Y台架驱动机构；在该X-Y台架上配置的Z台架，该Z台架具备使该Z台架升降的Z台架升降机构；在Z台架上配置的主卡盘，该主卡盘具有：用于使主卡盘朝θ方向转动的转动驱动机构；多个加热装置，该多个加热装置每一个是适合于对该多个被检查体的每一个、及由该多个被检查体所组成的组的每一个中任一个的大小，该多个加热装置各自设置有温度传感器；热交换器，该热交换器对由该多个加热装置所加热的被检查体进行冷却；温度控制装置，该温度控制装置基于该温度传感器的检查结果，对各个加热装置及该热交换器中的至少一个进行控制；在该探测室内与该主卡盘对置配置、且具有多个探测器的探测器插件。