| 发明名称 | 一种用于硅各向异性腐蚀的装置 | ||
| 摘要 | 一种用于硅各向异性腐蚀的装置，包括：磁力搅拌器、腐蚀容器、电阻丝加热的金属板或陶瓷裹覆的金属板、冷凝回流器、控制腐蚀液温度的温度控制仪和pH值测量仪。本发明装置结构的优点是：腐蚀参数和腐蚀状态可控制，保证了被腐蚀样品腐蚀结果的可重复性和满足样品设计要求的微细结构。 | ||
| 申请公布号 | CN1564310A | 申请公布日期 | 2005.01.12 |
| 申请号 | CN200410017033.3 | 申请日期 | 2004.03.18 |
| 申请人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明人 | 司俊杰;马斌 |
| 分类号 | H01L21/306;B81C1/00;C23F1/00 | 主分类号 | H01L21/306 |
| 代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人 | 张泽纯 |
| 主权项 | 1.一种用于硅各向异性腐蚀的装置，包括：磁力搅拌器(1)、腐蚀容器(2)，在磁力搅拌器和腐蚀容器之间有一可通过电阻丝(301)加热的金属板(3)或陶瓷裹覆的金属板(3)，腐蚀容器由腐蚀容器本体(201)和容器盖(202)组成；其特征在于：在容器盖顶上还有一冷凝回流器(4)，冷凝回流器的进气管(401)与容器盖中间通孔(202-1)联接，回流管(404)通过容器盖旁边通孔(202-2)插入腐蚀液里；在腐蚀容器本体内有一样品夹具(5)，在边上还有测量腐蚀液温度的测温探头(601)，测量腐蚀液PH值的探头(702)，它们分别通过容器盖周边通孔与控制仪(6)和PH值测量仪(7)联接。 | ||
| 地址 | 200083上海市玉田路500号 | ||