一种集成模斑变换器的脊型波导偏振无关半导体光放大器

摘要

本发明公开了一种集成模斑变换器的脊型波导偏振无关半导体光放大器，依次包括InP衬底、n型InP缓冲层、无源波导层、有源区、脊型波导，其顶层和低层设有电极，其特征在于：在无源波导层与有源区之间设有第二级宽脊波导，所述脊型波导为侧向锥形结构，与第二级宽脊波导共同使光束远场与光纤远场匹配。上述脊型波导分为三部分，脊宽分两级侧向减小。本发明不仅具有工艺简单可靠，器件成品率高的特点，而且其偏振灵敏度底，远场特性好，可得到近似圆形的远场光斑，与波导或光纤具有极高的耦合效率和耦合对准容差。本发明可以广泛应用于光网络、光子集成和光电子集成。

主权项

1、一种集成模斑变换器的脊型波导偏振无关半导体光放大器，依次包括InP衬底、n型InP缓冲层、无源波导层、有源区、脊型波导，其顶层和低层设有电极，其特征在于：在无源波导层(3)与有源区(5)之间设有第二级宽脊波导(4)，所述脊型波导(6)为侧向锥形结构，与第二级宽脊波导(4)共同使光束远场与光纤远场匹配。