使用膜具在基片上形成陶瓷微结构的方法

摘要

在一制造微结构的组件的方法中，一可固化的材料的大致均匀的涂层形成在带有形成一前导边缘的涂层的基片上形成一基本上均匀的可固化材料的涂层。该涂层从前导边缘开始接触于模具，以在固化的材料中形成多个被介入的接合区域连接的阻挡区域。固化材料被固化，并移去模具。可供选择地，涂层包括一粘结剂。对这样一涂层可任意选择地进行脱胶。此外，涂层可被烘焙而形成陶瓷微结构。

主权项

1.一种制造微结构的组件的方法包括：在一基片上形成一基本上均匀的可固化材料的涂层，该涂层形成一前导边缘；涂层从前导边缘开始接触于模具，模具在固化的材料中形成多个被介入的接合区域连接的阻挡区域；固化材料被固化；以及移去模具。