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发明名称
SUBSTRATE AND METHOD FOR PRODUCING A SUBSTRATE
摘要
申请公布号
EP1495492(A2)
申请公布日期
2005.01.12
申请号
EP20030729842
申请日期
2003.04.16
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES AG
发明人
HOFMANN, FRANZ;LUYKEN, RICHARD, JOHANNES;ROESNER, WOLFGANG;SPECHT, MICHAEL;STAEDELE, MARTIN
分类号
H01L21/762;H01L29/06;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/265;H01L21/336;H01L21/8234;H01L21/84;H01L27/08;H01L27/088;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/762
主分类号
H01L21/762
代理机构
代理人
主权项
地址
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