发明名称 机能液滴吐出喷头之吸引方法及吸引装置、以及液滴吐出装置、光电装置之制造方法、光电装置及电子机器
摘要 本发明系关于一种机能液滴吐出喷头之吸引方法及吸引装置、以及液滴吐出装置、光电装置之制造方法、光电装置及电子机器;也就是说,机能液滴吐出喷头之吸引装置系具有喷射器以及将启动流体来供应至喷射器之设备。在机能液滴吐出喷头之喷嘴面,密合帽盖,启动喷射器。像这样,藉由启动流体,透过帽盖,来吸引喷嘴面。
申请公布号 TWI226287 申请公布日期 2005.01.11
申请号 TW092130105 申请日期 2003.10.29
申请人 精工爱普生股份有限公司 发明人 中村真一;山田善昭
分类号 B41J2/17 主分类号 B41J2/17
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路二段一二五号七楼
主权项 1.一种机能液滴吐出喷头之吸引方法,其特征为:透过密合在吐出机能液滴之机能液滴吐出喷头之喷嘴面上之帽盖,藉由喷射器而吸引前述机能液滴吐出喷头之喷嘴。2.如申请专利范围第1项所述之机能液滴吐出喷头之吸引方法,其中,控制供应至前述喷射器之启动流体之流量而使得来自前述帽盖之吸引压力成为一定。3.如申请专利范围第1项所述之机能液滴吐出喷头之吸引方法,其中,在对于前述机能液滴吐出喷头之吸引动作结束时,对于由前述帽盖开始到达至前述喷射器之吸引管路,来进行大气开放。4.一种机能液滴吐出喷头之吸引装置,其特征为:在吐出机能液滴之机能液滴吐出喷头来密合帽盖并且透过前述帽盖而吸引前述机能液滴吐出喷头的机能液滴吐出喷头之吸引装置,具备:喷射器,系连通于前述帽盖,吸引前述机能液滴吐出喷头之全部喷嘴;以及,启动流体供应手段,系在前述喷射器,供应启动流体。5.如申请专利范围第4项所述之机能液滴吐出喷头之吸引装置,其中,前述喷射器系配置在前述帽盖之附近。6.如申请专利范围第4项所述之机能液滴吐出喷头之吸引装置,其中,还具备:压力检测手段,系检测连接前述帽盖和前述喷射器吸引口之吸引管路内之压力;流量调节阀,系介设于连接前述启动流体供应手段和前述喷射器供应口之启动流体供应管路,调节供应至前述喷射器之前述启动流体之流量;以及,第1控制手段,系根据前述压力检测手段之检测结果而控制前述流量调节阀。7.如申请专利范围第6项所述之机能液滴吐出喷头之吸引装置,其中,前述第1控制手段系在对于前述机能液滴吐出喷头之吸引结束时,逐渐地闭阀前述流量调节阀。8.如申请专利范围第6项所述之机能液滴吐出喷头之吸引装置,其中,还具备介设于前述吸引管路而开关前述吸引管路的吸引管路开关阀,前述第1控制手段系在对于前述机能液滴吐出喷头之吸引结束时,闭阀前述流量调节阀,同时,闭阀前述吸引管路开关阀。9.如申请专利范围第8项所述之机能液滴吐出喷头之吸引装置,其中,前述吸引管路开关阀系藉由具有大气开放埠之三方阀而构成,前述第1控制手段系同时于前述吸引管路开关阀之闭阀而开放前述大气开放埠,并且,再一次地开阀前述流量调节阀。10.如申请专利范围第4项所述之机能液滴吐出喷头之吸引装置,其中,还具备预先储存机能液同时藉由排出管路而连接于前述喷射器排出口的储存槽;前述启动流体供应手段系藉由帮浦所构成,同时,透过循环管路而连接于前述储存槽,成为启动流体而供应机能液。11.如申请专利范围第10项所述之机能液滴吐出喷头之吸引装置,其中,在连接前述启动流体供应手段和前述储存槽之前述循环管路,介设藉由具有大气开放埠之三方阀所构成之循环管路开关阀;还具备:在对于前述机能液滴吐出喷头之吸引结束时而闭阀前述循环管路开关阀同时开放前述循环管路开关阀之前述大气开放埠的第2控制手段。12.如申请专利范围第4项所述之机能液滴吐出喷头之吸引装置,其中,前述机能液滴吐出喷头系设置复数个,前述帽盖、前述喷射器和前述吸引管路系对应于前述复数个机能液滴吐出喷头而分别设置复数个。13.一种液滴吐出装置,其特征为:具备:申请专利范围第4项所述之机能液滴吐出喷头之吸引装置以及在工件吐出机能液的机能液滴吐出喷头。14.一种光电装置之制造方法,其特征为:使用申请专利范围第13项所述之液滴吐出装置,在工件上,形成藉由机能液滴所造成之成膜部。15.一种光电装置,其特征为:使用申请专利范围第13项所述之液滴吐出装置,在工件上,形成藉由机能液滴所造成之成膜部。16.一种电子机器,其特征为:搭载申请专利范围第15项所述之光电装置。图式简单说明:第1图系本实施形态之机能液滴吐出装置之外观立体图。第2图系本实施形态之机能液滴吐出装置之右侧视图。第3图系喷头单元之俯视图。第4A图系机能液滴吐出喷头之外观立体图,第4B图系将机能液滴吐出喷头装设于配管转接器时之剖面图。第5图系吸引单元之外观立体图。第6图系吸引单元之帽盖周围之剖面图。第7A、7B图系说明摩擦单元之图,第7A图系摩擦单元之示意图,第7B图系摩擦动作之说明图。第8图系本发明之第1实施形态之机能液滴吐出喷头、连接于此之机能液供应系统、空气供应手段及吸引单元之示意图。第9图系本发明之第2实施形态之机能液帮浦及吸引单元周围之示意图。第10图系说明彩色滤光片制造制程之流程图。第11A~11E图系制造制程顺序所示之彩色滤光片之示意剖面图。第12图系将使用适用本发明之彩色滤光片之液晶装置之概略构造予以显示之要部剖面图。第13图系将使用适用本发明之彩色滤光片之第2例子之液晶装置之概略构造予以显示之要部剖面图。第14图系将使用适用本发明之彩色滤光片之第3例子之液晶装置之概略构造予以显示之要部剖面图。第15图系成为有机EL装置之显示装置之要部剖面图。第16图系说明成为有机EL装置之显示装置之制造制程之流程图。第17图系说明无机物库层之形成之制程图。第18图系说明无机物库层之形成之制程图。第19图系说明形成正孔植入/输送层之过程之制程图。第20图系说明形成正孔植入/输送层之状态之制程图。第21图系说明形成蓝色发光层之过程之制程图。第22图系说明形成蓝色发光层之状态之制程图。第23图系说明形成蓝色发光层之状态之制程图。第24图系说明阴极形成之制程图。第25图系成为电浆型显示装置(PDP装置)之显示装置之要部分解立体图。第26图系成为电子释出装置(FED装置)之显示装置之要部剖面图。第27A、27B图系显示装置之电子释出部周围之俯视图(第27A图)及显示其形成方法之俯视图(第27B图)。
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