| 主权项 |
1.一种基板搬送装置,其特征在于具备搬送用平面面板制造工程所制成基板的基板搬送装置中,包括:设有较上述基板的宽幅略短,浮上基板的基板浮起块;及藉由基板浮块可沿基板的搬送方向移动而设置,可用来吸着固定由上述基板浮起块向外侧突出的基板内里面两端,用以将基板以浮上状态沿上述搬送方向来搬动的基板搬送机构。2.如申请专利范围第1项所述之基板搬送装置,其中前述基板搬送机构,系藉基板表面所形成不规则而可藉以吸着固定基板背面两端的吸盘为其特征者。3.如申请专利范围第2项所述之基板搬送装置,其中所述之吸盘系吸着固定于基板里面的前端及后端为其特征者。4.如申请专利范围第2项所述之基板搬送装置,其中所述之吸盘系以复数个沿着基板背面两端吸着固定为其特征者。5.如申请专利范围第2项所述之基板搬送装置,其中所述之吸盘系吸着固定于基板里面而比基板浮块略高上昇为其特征者。6.如申请专利范围第1项所述之基板搬送装置,其中所述基板浮起块系其全部表面规则的设有多数孔,藉由该等孔向上吹出的空气将基板上浮为其特征者。7.如申请专利范围第6项所述之基板搬送装置,其中前述基板浮起块为防止基板向下弯折,于该基板浮起块的两端形成许多上吹空气的气孔为其特征者。8.如申请专利范围第6项所述之基板搬送装置,其中前述基板浮起块沿搬送方向在其表面至少设有一个排气沟为其特征者。9.如申请专利范围第8项所述之基板搬送装置,其中前述空气排气沟设有由该排气沟连通外部的空气排气孔为其特征者。10.如申请专利范围第1项所述之基板搬送装置,其中前述基板浮起块具有可放入将基板搬入或搬出的机械手臂置入沟为其特征者。11.如申请专利范围第1项所述之基板搬送装置,其中前述基板浮起块系设置于检查位置,当基板搬送时该基板上浮,并且在检查中保持固定该基板于检查位置为其特征者。12.如申请专利范围第11项所述之基板搬送装置,其中前述在检查位置中,设有跨过浮起块而可向搬送方向移动的门型手臂,而该门型手臂用以搭载获取垂直于基板搬送方向基板的影像资料的检查用机器其特征者。13.如申请专利范围第1项所述之基板搬送装置,其中前述浮起块配置于检查位置,并且在该检查位置备有用以跨过基板浮起块的门型手臂,而该门型手臂用以搭载获取垂直于基板搬送方向基板的影像资料的检查用机器;而上述基板搬送装置系可将检查中的基板在检查位置维持上浮状态并沿搬送方向移动,用检查用机器来检查基板的表面为其特征者。14.如申请专利范围第1项所述之基板搬送装置,其中前述浮起块系设置于搬送架台上且可以往复移动,在基板的收送料位置上一面将基板上浮,并藉由基板搬送机构于收送料后吸着固定基板为其特征者。15.如申请专利范围第14项所述之基板搬送装置,其中前述跨过浮起块的门型手臂系固定配置于搬送架台上,该门型手臂用以搭载获取基板影像资料的检查用机器,被吸着固定的基板以基板浮起块沿搬送方向移动,并以检查用机器检查基板的表面为其特征者。16.如申请专利范围第1项所述之基板搬送装置,其中前述基板浮起块具有决定基板上浮状态下基准位置的对准机构为其特征者。17.如申请专利范围第16项所述之基板搬送装置,其中前述对准机构具检出基板在上浮状态下呈直交的二边棱边位置资料的数个感测器,并依据该感测器所检出棱边位置资料调整基板的位置与标准位置相合为其特征者。18.如申请专利范围第16项所述之基板搬送装置,其中前述对准机构系个别支撑上浮基板的两端,在支撑中至少有一端沿搬送方向微动,转动上述基板以对准部将基板转至标准位置为其特征者。19.如申请专利范围第16项所述之基板搬送装置,其中前述对准机构系以基板搬送机构个别支撑上浮基板的两端,在支撑中至少有一端沿搬送方向微动,而转动上述基板的结果,如对准部未将基板调至基板的位置,对准部会将基板沿搬送方向以与之垂直方向微动,将基板对准调至标准位置为其特征者。20.如申请专利范围第18项或19项所述之基板搬送装置,其中前述对准部具备了,检测出与前述基板呈直交之两边棱边位置的数个感测器、及藉由该等些感测器所检测之前述基板两边的棱边位置资料,以辨识前述基板姿势之姿势辨识部、及藉由前述姿势辨识部,将辨识之前述基板姿势对准前述标准位置,以移动与控制前述搬送机构之姿势控制部为其特征者。21.如申请专利范围第20项所述之基板搬送装置,其中前述数个感测器,是将数个检测元件排列成现状的三个线性感测器,一个前述线性感测器,则位于前述搬送方向的垂直中央部、且将线形方向设置成同于前述基板的搬送方向;另外两个前述线性感测器,则以规定的间隔偏离前述基板的一端,且将线形方向设置于前述基板搬送方向的垂直方向上为其特征者。22.如申请专利范围第20项所述之基板搬送装置,其中前述姿势控制部负责支撑前述基板搬送方向前端的前述基板两端,并各自移动到沿着前述搬送路线两端所配置的各滑块上,各搬送端部中至少有一端朝前述搬送方向微动,并藉由旋转前述基板,而将前述基板平行配置于前述搬送方向为其特征者。23.如申请专利范围第20项所述之基板搬送装置,其中前述姿势控制部负责支撑前述基板搬送方向前端的前述基板两端,并各自移动到沿着前述搬送路线两端所配置的各滑块上,各基板支撑部中至少有一端朝前述搬送方向微动,并藉由旋转前述基板,而将前述基板平行配置于前述搬送方向;前述基板的旋转结果,倘若前述基板未对准前述基板位置,便让前述各基板支撑部同步,再对前述搬送方向朝垂直方向微动,并将前述基板对准前述搬送路线的中心位置,以便让前述基板对准标准位置为其特征者。图式简单说明:图一系本发明基板搬送装置第一实施例的平面构成图。图二系本发明基板搬送装置第一实施例的侧面构成图。图三系本发明基板搬送装置第一实施例中浮上基板载运台1的玻璃基板表示图。图四系本发明基板搬送装置第一实施例中玻璃基板空气动作表示图。图五系本发明基板搬送装置第一实施例中玻璃基板空气动作表示图。图六系本发明基板搬送装置第一实施例中对准部动作表示图。图七系本发明基板搬送装置第一实施例中对准部动作表示图。图八系本发明基板搬送装置第一实施例中对准部动作表示图。图九系本发明基板搬送装置第二实施例中对准部动作后的玻璃基板的搬送表示图。图十系本发明基板搬送装置第二实施例中在浮起块上形成复数个沟槽之表示图。 |
