发明名称 光学式金属辨识装置及其方法
摘要 本发明之光学式金属辨识装置包含一可承载一待测样品之载台、一可产生至少一窄频光之光源模组、一用以聚焦该窄频光于该待测样品上之透镜组、一用以撷取该窄频光经该待测样品反射后之反射光强度之光感测器以及一用以辨识该待测样品所包含之金属种类之处理单元。该待测样品可为一包含铜及金之印刷电路板,而该窄频光之频宽较佳地系小于20nm,最佳地为小于5nm。该处理单元可根据该窄频光经该待测样品反射后之反射光强度的差异性,用以辨识该待测样品所包含之金属种类。
申请公布号 TWI226435 申请公布日期 2005.01.11
申请号 TW092133244 申请日期 2003.11.26
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 柯俊宏;李耀昌;刘家嵩
分类号 G01N21/17 主分类号 G01N21/17
代理机构 代理人
主权项 1.一种光学式金属辨识装置,包含:一载台,用以承载一待测样品;一光源模组,可产生至少一窄频光;一透镜组,用以将该窄频光聚焦于该待测样品上;一光感测器,用以撷取该窄频光经该待测样品反射后之反射光强度;以及一处理单元,其根据该光感测器撷取之反射光强度辨识该待测样品所包含之金属种类。2.如申请专利范围第1项之光学式金属辨识装置,其中该光源模组可产生一第一窄频光及一第二窄频光,而该第一窄频光与该第二窄频光之中心波长不同。3.如申请专利范围第1项之光学式金属辨识装置,其中该光源模组系由一白光光源加上一适当滤光片构成,而该白光光源可为水银灯、卤素灯、金属卤素灯或氙气灯。4.如申请专利范围第1项之光学式金属辨识装置,其中该光源模组系一发光二极体。5.如申请专利范围第1项之光学式金属辨识装置,其中该光源模组系一雷射。6.如申请专利范围第1项之光学式金属辨识装置,其中该待测样品可为一包含铜及金之印刷电路板。7.如申请专利范围第6项之光学式金属辨识装置,其中该第一窄频光之中心波长可为400nm,而该第二窄频光之中心波长可为600nm。8.如申请专利范围第1项之光学式金属辨识装置,其中该透镜组可由一聚焦透镜组或一柱型透镜组构成。9.如申请专利范围第1项之光学式金属辨识装置,其中该光感测器可为一电荷耦合感测元件。10.如申请专利范围第1项之光学式金属辨识装置,其中该处理单元可包含一影像辨识软体。11.一种光学式金属辨识方法,包含下列步骤:以一第一入射角照射一第一窄频光于一待测样品上;撷取该第一窄频光于该第一入射角经该待测样品反射后之反射光强度;以及根据该第一窄频光的反射光强度辨识该待测样品所包含之金属种类。12.如申请专利范围第11项之光学式金属辨识方法,其另包含下列步骤:以一第二入射角照射该第一窄频光于该待测样品;撷取该第一窄频光于该第二入射角经该待测样品反射后之反射光强度;以及根据该第一窄频光于该第一入射角与该第二入射角之反射光强度之差値辨识该待测样品所包含之金属种类。13.如申请专利范围第11项之光学式金属辨识方法,其另包含下列步骤:以该第一入射角照射一第二窄频光于该待测样品上;撷取该第二窄频光于该第一入射角经该待测样品反射后之反射光强度;以及根据第一窄频光的反射光强度与该第二窄频光的反射光强度之差値辨识该待测样品所包含之金属种类。14.如申请专利范围第13项之光学式金属辨识方法,其中该第一窄频光之中心波长可为400nm,而该第二窄频光之中心波长可为600nm。15.如申请专利范围第11项之光学式金属辨识方法,其中该待测样品可为一包含铜及金之印刷电路板。图式简单说明:图1系本发明之光学式金属辨识装置之示意图;以及图2例示数种金属之反射率与波长的关系。
地址 新竹县竹东镇中兴路四段一九五号