发明名称 正型感光树脂组成物
摘要 本发明提供能够生成高解析度及高残留膜比率之图样且具有高感度的正型感光树脂组成物。即,本发明提供包含以下者的正型感光树脂组成物:100重量份的聚醯胺树脂及1至50重量份之诸如下式(Q-1)所示的光敏剂:其中各个Q是氢原子或者且总Q的40%是
申请公布号 TWI226513 申请公布日期 2005.01.11
申请号 TW091101082 申请日期 2002.01.23
申请人 住友电木股份有限公司 发明人 真壁裕明;番场敏夫;平野孝
分类号 G03F7/023 主分类号 G03F7/023
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路二段一二五号七楼
主权项 1.一种正型感光树脂组成物,其特征为该组成物包含:100重量份之(A)以下通式(1)所示的聚醯胺树脂,及1至50重量份之(B1)光敏剂,其为具有以下通式(2)所示之骨架结构的酚系化合物的1,2--2-二叠氮-5-磺酸盐或者1,2--2-二叠氮-4-磺酸盐:其中X为;Y为;Z为;E为;a及b各表示莫耳分率,a+b=100莫耳%,a=60至100莫耳%,且b=0至40莫耳%;且n为平均値且为2至300的正数,及其中R5系选自氢原子、(C1-C10)烷基、(C1-C10)烷氧基、苯基及经取代之苯基的一个原子或者基团;多个R6可以相同或相异并且各为选自氢原子、羟基、(C1-C10)烷基、(C1-C10)烷氧基、苯基及(C3-C8)环烷基的一个原子或者基团,并且至少有一个R6是羟基;多个R7可以相同或相异并且各为选自氢原子、羟基、(C1-C10)烷基、(C1-C10)烷氧基、苯基及(C3-C8)环烷基的一个原子或者基团,并且至少有一个R7是羟基;1是0至3之整数;m是1至3之整数;且n是1至3之整数。2.如申请专利范围第1项之正型感光树脂组成物,其中,具有通式(2)所示之骨架结构的酚系化合物之20至80%的羟基被取代成1,2--2-二叠氮-5-磺酸盐或者1,2--2-二叠氮-4-磺酸盐。3.如申请专利范围第1项之正型感光树脂组成物,其中,以通式(1)表示之聚醯胺树脂的X系选自下式(6-i)至(6-iv)之基团4.如申请专利范围第1项之正型感光树脂组成物,其中,以通式(1)表示之聚醯胺树脂的Y系选自下式(7-i)至(7-iv)之基团5.如申请专利范围第1项之正型感光树脂组成物,其中,以通式(1)表示之聚醯胺树脂的E系选自下式(8-i)至(8-ii)之基团6.一种正型感光树脂组成物,其特征为该组成物包含:100重量份之(A)以通式(1)表示的聚醯胺树脂,1至50重量份之(B1)光敏剂,其为具有通式(2)所示之骨架结构的酚系化合物的1,2--2-二叠氮-5-磺酸盐或者1,2--2-二叠氮-4-磺酸盐,及1至30重量份之(C)以下通式(3)所示的酚系化合物:其中R8及R9各为氢原子或者烷基;且R10、R11、R12及R13各为选自氢原子、卤原子、烃基、烷基、烷氧基及环烷基的一个原子或者基团。7.如申请专利范围第6项之正型感光树脂组成物,其中,具有通式(2)表示之骨架结构的酚系化合物之20至80%的羟基被取代成1,2--2-二叠氮-5-磺酸盐或者1,2--2-二叠氮-4-磺酸盐。8.如申请专利范围第6项之正型感光树脂组成物,其中,以通式(1)表示之聚醯胺树脂的X系选自式(6)之基团。9.如申请专利范围第6项之正型感光树脂组成物,其中,以通式(1)表示之聚醯胺树脂的Y系选自式(7)之基团。10.如申请专利范围第6项之正型感光树脂组成物,其中,以通式(1)表示之聚醯胺树脂的E系选自式(8)之基团。11.如申请专利范围第6项之正型感光树脂组成物,其中,酚系化合物(C)系下式(9)所示的酚系化合物。12.如申请专利范围第6项之正型感光树脂组成物,其中,总酚系化合物含有50重量%或以上之通式(10)所示的酚系化合物及/或通式(11)所示的酚系化合物。13.一种正型感光树脂组成物,其特征为该组成物包含:100重量份之(A)通式(1)所示的聚醯胺树脂,1至50重量份之(B1)光敏剂,其为具有通式(2)所示之骨架结构的酚系化合物的1,2--2-二叠氮-5-磺酸盐或者1,2--2-二叠氮-4-磺酸盐,0.1至25重量份之(B2)光敏剂,其为具有以下通式(4)或(5)所示之骨架结构的酚系化合物的1,2--2-二叠氮-5-磺酸盐或者1,2--2-二叠氮-4-磺酸盐,及1至30重量份之(C)通式(3)所示的酚系化合物:其中R14为氢原子或者烷基;且R15、R16、R17、R18、R19及R20各为选自氢原子、卤原子、羟基烷基、烷氧基及环烷基的一个原子或者基团,或者其中R21、R22、R23、R24、R25、R26、R27、R28及R29各为选自氢原子、卤原子、羟基、烷基、烷氧基及环烷基的一个原子或者基团。14.如申请专利范围第13项之正型感光树脂组成物,其中,具有以通式(2)表示之骨架结构的酚系化合物之20至80%的羟基被取代成1,2--2-二叠氮-5-磺酸盐或者1,2--2-二叠氮-4-磺酸盐。15.如申请专利范围第13项之正型感光树脂组成物,其中,具有以通式(4)或(5)表示之骨架结构的酚系化合物之80至100%的羟基被取代成1,2--2-二叠氮-5-磺酸盐或者1,2--2-二叠氮-4-磺酸盐。16.如申请专利范围第13项之正型感光树脂组成物,其中,光敏剂(B1)及光敏剂(B2)的重量比为0.1≦(B2)/(B1)≦0.5。17.如申请专利范围第13项之正型感光树脂组成物,其中,以通式(1)表示之聚醯胺树脂的X系选自式(6)之基团。18.如申请专利范围第13项之正型感光树脂组成物,其中,以通式(1)表示之聚醯胺树脂的Y系选自式(7)之基团。19.如申请专利范围第13项之正型感光树脂组成物,其中,以通式(1)表示之聚醯胺树脂的E系选自式(8)之基团。20.如申请专利范围第13项之正型感光树脂组成物,其中,酚系化合物(C)系以式(9)表示的酚系化合物。21.如申请专利范围第13项之正型感光树脂组成物,其中,总酚系化合物含有50重量%或以上之通式(10)所示的酚系化合物及/或通式(11)所示的酚系化合物。
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