发明名称 精确基材之储存容器
摘要 在容器主体的两内侧壁上形成架子状支撑区段,用以配置与储存多数精确基材。在容器主体的两内侧壁之前侧上,以可拆装的方式放置限制机构,用以挡住精确基材以免滑出。限制机构包含一支撑板、多数弹性臂及紧贴件,其中支撑板系以可拆装方式插入而支撑在容器主体两内侧壁之插入部上,弹性臂系从支撑板在容器主体的后方延伸,紧贴件系形成于弹性臂尖端且正对着精确基材之侧部外围。
申请公布号 TWI226672 申请公布日期 2005.01.11
申请号 TW090122365 申请日期 2001.09.10
申请人 信越聚合物股份有限公司 发明人 矢敏嗣;细井正人
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路二段一二五号七楼
主权项 1.一种精确基材之储存容器,包含:一容器主体,其具有一前开口、于底面作为处理装备所用的位置决定机构,及大致呈架子状的支撑区段,该支撑区段系设置在两内侧壁上用以储存多数精确基材;及一盖本体,系用以密封住该容器主体之该前开口,其特征在于该容器主体具有限制机构,用以在除去该盖本体的状态下,限制该精确基材以免从该容器主体的前开口滑出,且该限制机构包含:一支撑板,系以可拆装方式安装在该容器主体的至少一内侧壁之开口侧上;多数弹性臂,系从该支撑板起,朝向与该容器主体的前开口相反方向延伸;以及多数紧贴件,系设置在该弹性臂的自由端上而正对着该精确基材的外围部分。2.根据申请专利第1项之精确基材之储存容器,其中该容器主体的至少一内侧壁之开口侧或该支撑板系分别设有一凹穴部或一突出部,且这些凹穴部与突出部可彼此啮合。3.根据申请专利第1项之精确基材之储存容器,其中该弹性臂的紧贴件之下部系分别在相反方向突出且超过该支撑区段的下部以便构成一防止松弛机构。4.根据申请专利第2项之精确基材之储存容器,其中该弹性臂的紧贴件之下部系分别在相反方向突出且超过该支撑区段的下部以便构成一防止松弛机构。5.一种精确基材之储存容器,包含:架子状支撑区段,用以档住放在两内侧壁上之精确基材,及限制机构,用以减少精确基材在容器主体内之弯曲,该限制机构包含:一支撑板,多数弹性臂,系朝向与该容器主体的开口相反方向延伸,且该弹性臂的紧贴件下部系延伸而分别与放置在架子状的支撑区段上之精确基材下部重叠,且可以分别接触到精确基材之下表面。图式简单说明:图1是一局部立体图,显示习知的精确基材之储存容器与精确基材;图2是一局部剖面图,显示习知的精确基材之储存容器的支撑区段与精确基材;图3是一立体图,显示本发明实施例的精确基材之储存容器;图4是一立体图,显示在本发明实施例的精确基材之储存容器中的容器主体;图5是一立体图,显示本发明实施例的精确基材之储存容器;图6是沿着图5的线IV-IV所作之剖面图;图7是沿着图5的线V-V所作之剖面图;图8是主要部位之立体图,显示本发明第二实施例的精确基材之储存容器;图9是沿着图8的线VII-VII所作之剖面图;图10是主要部位之立体图,显示本发明第三实施例的精确基材之储存容器;图11是一剖面图,显示垂直放置的本发明第三实施例的精确基材之储存容器之容器主体;图12是一上视图,显示本发明第四实施例的精确基材之储存容器之主要部位;及图13是沿着图12的线XII-XII所作之剖面图。
地址 日本