| 主权项 |
1.一种用于具有复数个不同形状室组件的一处理室配件之洁净室传输盒,该盒至少包含:(a)一第一坚固匣,系具有:一具有一第一边框的第一架板;及复数个从该第一架板向外延伸之第一凹槽;(b)一可从该第一匣分离之第二坚固匣,该第二匣具有:一包括一第二边框之第二架板,该第二边框与该第一架板之该第一边框耦合,以在其间形成一密封;及复数个从该第二架板向外延伸之第二凹槽;其中复数个具有不同内表面形状之顺形凹穴系藉由将成对之第一与第二凹槽面对面而形成,各顺形凹穴之该内表面形状匹配一室组件的一外表面形状,以使在传输时该室组件在其顺形凹穴中之移动会最小;及其中该第一或第二匣之至少一部份系实质上透明,以使该处理室配件之各室组件的状态可经由该实质上透明部份观察到。2.如申请专利范围第1项所述之传输盒,其中该等面对面之第一与第二凹槽具有实质上相同之内表面形状,且系以镜射之关系彼此并置。3.如申请专利范围第1项所述之传输盒,其中该等第一与第二匣中至少一者系至少包含一坚固侧壁,该侧壁具有之高度大于任何该等顺形凹穴之深度。4.如申请专利范围第3项所述之传输盒,其中一侧壁之相对部份各至少包含一把手挖空部份。5.如申请专利范围第4项所述之传输盒,其中该等侧壁至少包含一组可耦合在一起之可移式面板。6.如申请专利范围第1项所述之传输盒,其中至少一第一或第二凹槽具有一凹槽壁,该凹槽壁系经成形以当一室组件系被置于该凹槽内时,施加一向内机械偏压力以将该室组件固定于一接触点。7.如申请专利范围第1项所述之传输盒,至少包含一在该等第一或第二匣中至少一者之该边框内的沟槽,及一在该沟槽内之密封垫片,以在该等第一与第二匣间形成一气密封。8.如申请专利范围第1项所述之传输盒,至少包含将该等第一与第二匣锁定在一起的一闩锁与一闩锁键。9.如申请专利范围第1项所述之传输盒,其中该第一或第二匣的至少一部份系依照一从一色码表中选出之颜色来上色,该色码表具有一颜色表单且与处理室配件相联结。10.如申请专利范围第9项所述之传输盒,其中该色码表之该表单与处理室配件之不同颜色相联结,该等处理室配件系具有相同室组件,而该些室组件系曾经或将被用于不同制程。11.如申请专利范围第9项所述之传输盒,其中该实质上透明部份系具有颜色。12.一种用于具有复数个不同形状室组件的一处理室配件之洁净室传输盒,该盒至少包含:(a)一第一坚固且实质上透明之匣,其具有:一具有一第一边框的第一框架;及复数个从该第一框架向外延伸之第一凹槽;(b)一可从该第一匣分离之第二坚固且实质上透明匣,该第二匣具有:一至少包含具有一第二边框之第二框架;及复数个从该第二框架向外延伸之第二凹槽,该等第二凹槽具有与该等第一凹槽实质上相同之内表面形状;(c)一在该等第一或第二框架内之一沟槽内之密封垫片;及(d)一在该第一匣上之闩锁与一在该第二匣上的闩锁键;其中当该等第一与第二匣系耦合在一起且该闩锁系在该闩锁键上关闭时,一气密式密封系形成于该二匣间;其中复数个具有不同内表面形状之顺形凹穴系藉由将成对之第一与第二凹槽面对面而形成,各顺形凹穴之该内表面形状与一室组件的一外表面形状匹配,以使传输时该室组件在其顺形凹穴中之移动会最小;及其中该等实质上透明之第一或第二匣允许该处理室配件之各室组件的状态可通过其中而观察到。13.如申请专利范围第12项所述之传输盒,其中该等第一与第二匣中至少一者至少包含一高度大于任何该等顺形凹穴之深度的坚固侧壁,该侧壁至少包含一组系耦合在一起之可移式面板。14.如申请专利范围第13项所述之传输盒,其中一侧壁之相对部份各至少包含一把手挖空部份。15.如申请专利范围第12项所述之传输盒,其中至少一第一或第二凹槽具有一凹槽壁,该凹槽壁系经成形以当一室组件被置于该凹槽内时可施加一向内机械偏压力,以将该室组件固定于一接触点。16.如申请专利范围第12项所述之传输盒,其中该等第一或第二匣的至少一部份可依照一从一色码表中选出之颜色上色,该色码表系具有一颜色表单且与处理室配件相联结。图式简单说明:第1图系一传输盒之爆炸状立体图,显示具有界定一组顺形凹穴之凹槽的相对第一与第二匣,用于固定具有不同室组件之处理室配件;第2图系具有至少包含可移式面板之一侧壁的一匣之爆炸状立体图;第3a图系一至少包含一对相匹配之匣的传输盒之爆炸状断面简图,该等匣界定各具有一内表面形状之顺形凹穴,其内表面形状符合一处理室配件之特定室组件的外表面形状;第3b图显示第3a图之传输盒,在组装围绕该室组件之匣后,经由一阀出口排出内部空气,且经由一阀入口输入洁净与乾燥空气或钝气;第4图系具有包括相对面具弹性凹处之匣壁的一匣之断面简图,其当受压时会施加一固定一室组件于定位之向内力;及第5图经堆叠之传输盒的断面简图,显示该堆叠键与彼此适配的对应凹处。 |
