| 主权项 |
1.一种层积型压电零件之制造方法,其特征在于: 具有复数个压电陶瓷层和介于该压电陶瓷层而配 置之内部电极层,并由以通式ABO3所表示之钙钛矿 型复合氧化物而形成构成前述压电陶瓷层之压电 陶瓷,并且至少含有Pb而作为A部位成份,且至少含 有Ti而作为B部位成份,其系含有: 粉末原料产生步骤,其系产生将前述A部位成份之 含有莫耳量较化学计量论组成更减少0.5mol%~5.0 mol% 之压电陶瓷粉末原料; 层积成形体制作步骤,其系使用前述压电陶瓷粉末 原料而制作层积成形体;以及 焙烧步骤,其系在氧气浓度之体积%为5%以下(其中, 未包含0%)之气体环境中,在前述层积成形体施行焙 烧处理。 2.如申请专利范围第1项之层积型压电零件之制造 方法,其中前述粉末原料产生步骤,系以使前述B部 位成份之平均价数能较化学计量论组成更大之方 式,将构成前述A部位成份之陶瓷素原料和构成B部 位成份之陶瓷素原料予以混合。 3.如申请专利范围第2项之层积型压电零件之制造 方法,其中前述B部位成份系更含有Ti、Zr、以及Ti 、Zr以外之离子, 在前述B部位成份之含有离子Mn(n=1、2、3、…i)之 价数记为an(n=1、2、3、…i),前述Mn之含有莫耳比记 为bn(n=1、2、3、…i)时,则控制前述B部位成份之平 均价数,使能满足 而产生前述压电陶瓷粉末原料。 4.如申请专利范围第1项之层积型压电零件之制造 方法,其中前述粉末原料产生步骤,系将包含于前 述A部位成份之Pb的含有莫耳量,对化学计量论组成 而减至0.5~5.0mol%。 5.如申请专利范围第1项之层积型压电零件之制造 方法,其中前述B部位成份系更含有Nb。 6.如申请专利范围第1项之层积型压电零件之制造 方法,其中前述B部位成份系更含有Nb和Ni。 7.如申请专利范围第1项之层积型压电零件之制造 方法,其中前述B部位成份系更含有择自Nb、Sb、Ta 、W之中之至少1种以上之成份。 8.如申请专利范围第7项之层积型压电零件之制造 方法,其中前述B部位成份系更含有择自Ni、Cr、Co 、Mg之中之至少1种以上之成份。 9.如申请专利范围第1项之层积型压电零件之制造 方法,其中前述层积成形体制作步骤系含有: 将前述压电陶瓷粉末原料成形成薄膜状,而制作陶 瓷生坯薄片之陶瓷生坯薄片制作步骤; 使用内部电极用之导电性糊状物而形成电极图案 于前述陶瓷生坯薄片上之步骤;以及 将形成前述电极图案之陶瓷生坯薄片予以层积而 形成层积成形体之步骤。 10.如申请专利范围第9项之层积型压电零件之制造 方法,其中前述导电性糊状物系含有作为主要成份 之Ag。 11.一种层积型压电零件,其系 由依据申请专利范围第1项乃至第10项之中之任意 一项之制造方法而制造。 图式简单说明: [图1]表示作为本发明之层积型压电零件之层积压 电致动装置之一实施形态(第1实施形态)之截面图 。 [图2]表示作为本发明之层积型压电零件之第2实施 形态之层积压电发音体之截面图。 [图3]表示作为本发明之层积型压电零件之第3实施 形态之层积压电感测器之截面图。 |
