发明名称 |
WAFER FIXING APPARATUS OF SEMICONDUCTOR PROCESS CHAMBER TO AVOID DAMAGE TO WAFER FIXING APPARATUS |
摘要 |
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申请公布号 |
KR100466968(B1) |
申请公布日期 |
2005.01.10 |
申请号 |
KR19970020071 |
申请日期 |
1997.05.22 |
申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
LEE, YEON HWI |
分类号 |
H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/68 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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