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发明名称 Radial bulk annular resonator using MEMS technology
摘要
申请公布号 AU2004251335(A1) 申请公布日期 2005.01.06
申请号 AU20040251335 申请日期 2004.05.21
申请人 THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA 发明人 BRIAN L. BIRCUMSHAW;OLIVER M. O'REILLY;ALBERT P. PISANO
分类号 H01L41/00;H01S3/097;H03H3/007;H03H9/24;H03H9/70 主分类号 H01L41/00
代理机构 代理人
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