| 发明名称 |
Vacuum system for film formation apparatus and process, leak judgement method, and computer-readable recording medium with recorded leak-judgment-executable program |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1150328(A3) |
申请公布日期 |
2005.01.05 |
| 申请号 |
EP20010110383 |
申请日期 |
2001.04.26 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
IZAWA, HIROSHI;ECHIZEN, HIROSHI;OHTOSHI, HIROKAZU;TANAKA, MASATOSHI |
| 分类号 |
C23C16/44;G01M3/00;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/18 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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