发明名称 Elektrische Verbindungsstruktur auf einer integrierten Schaltungsanordnung mit einem Zapfen mit vergrössertem Kopf
摘要
申请公布号 DE69533823(D1) 申请公布日期 2005.01.05
申请号 DE1995633823 申请日期 1995.12.05
申请人 STMICROELECTRONICS, INC. 发明人 SMITH, GREGORY C.
分类号 C23F1/02;C23F4/00;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768;H01L23/485;H01L23/522;(IPC1-7):H01L23/485 主分类号 C23F1/02
代理机构 代理人
主权项
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