Interferometeranordnung und Verwendung der Interferometeranordnung

摘要

Die Erfindung betrifft eine Interferometeranordnung (1) zum Bestimmen einer veränderlichen relativen Lage (45) einer ein Weißlicht zumindest teilweise reflektierenden Probenoberfläche (41) eines Probenkörpers (40) und einer das Weißlicht zumindest teilweise reflektierenden Referenzoberfläche (51) eines Referenzkörpers (50). Daneben wird die Verwendung der Interferometeranordnung angegeben. Aufgrund der kurzen Kohärenzlänge der Lichtquelle (2) des Weißlichts kann eine Änderung eines Ausmaßes eines beliebigen Probenkörpers mit einer Auflösung von wenigen zehntel mum erzielt werden. Die Interferometeranordnung wird beispielsweise zum Bestimmen von Alterungsprozessen eines Piezoaktors in monolithischer Vielschichtbauweise verwendet.