反射电极形成方法及液晶显示装置

摘要

提供了一种谋求减少制造工序数及制造成本的反射电极形成方法及应用该方法的液晶显示装置。将抗蚀剂膜涂敷在反射电极膜3上，通过对该抗蚀剂膜进行曝光及显影，使有多个孔4a的抗蚀剂膜的保留部4保留下来，将该保留部4作为掩模，对反射电极膜3进行干法刻蚀。将该保留部4作为掩模，通过对反射电极膜3进行干法刻蚀，在各像素上形成有多个孔30a的反射电极30。在该孔30a的周围设置有厚度连续变化的厚度变化区域30b，所以能使反射电极30具有所希望的反射特性。

主权项

1.一种反射电极形成方法，它是在基板上形成多个反射电极的反射电极形成方法，其特征在于：包括在上述基板上形成有上述反射电极的材料的第一膜的工序；以及使上述第一膜的对应于上述反射电极的部分保留下来而对上述第一膜进行构图的工序，上述进行构图的工序在上述第一膜的对应于上述反射电极的部分，形成上述第一膜的厚度连续变化的厚度变化区域。