用于微型流体处理系统的传感器

摘要

本发明涉及用于微型液体处理系统中的集成微型悬臂梁、微型电桥或微型膜片。这种微型液体处理系统提供了新型的用于检测该系统中流体的物理、化学及生物特性的检测机理。本发明还涉及具有集成读取元件的微型悬臂梁、微型电桥或微型膜片型传感器。这种结构可使不同液体的层流不混合地流过通道，这将开发出新型的试验用具而且可降低与液体运动相关的噪音。本发明甚至还涉及包含有相邻的或间隔很近的可同时暴露在不同的化学环境中的微型悬臂梁、微型电桥或微型膜片的传感器。

主权项

1.一种用于检测流体中目标物质的存在的传感器，所述传感器包含：-用于处理流体的装置，所述处理装置包含一个具有100微米宽和100微米深的量级的狭窄通道的相互作用腔、一个入口及一个出口，-具有一表面的第一挠性元件，所述表面上附着有一种捕获物质，其中附着有该捕获物质的表面至少部分地位于该相互作用腔中，使得该捕获物质至少部分被暴露给该流体，以及-用于检测与第一挠性元件相关的一个机械参数的装置，所述机械参数与该流体中要被检测的目标物质的存在相关。