Plasma-basierte Erzeugung von Röntgenstrahlung mit einem schichtförmigen Targetmaterial

摘要

Es werden Verfahren zur plasma-basierten Erzeugung von Röntgenstrahlung mit den Schritten Bereitstellung eines Targetmaterials (50) in Form eines freien Strömungsgebildes (51) in einer Vakuumkammer (20) und Bestrahlung des Targetmaterials (50), um einen Plasmazustand zu erezugen, in dem die Röntgenstrahlung abgestrahlt wird, beschrieben, wobei das Strömungsgebilde (51) so gerformt wird, dass das Targetmaterial wenigstens am Ort der Bestrahlung eine Oberfläche (52) mit einem lokalen Krümmungsminimum besitzt. Es werden auch Vorrichtungen zur Umsetzung der Verfahren und insbesondere Röntgenquellen zur plasma-basierten Erzeugung von Röntgenstrahlung beschrieben.