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发明名称 DEVICE FOR ACCOMMODATING SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP1493176(A2) 申请公布日期 2005.01.05
申请号 EP20030720395 申请日期 2003.03.31
申请人 ASTEC HALBLEITERTECHNOLOGIE GMBH 发明人 NIESE, MATTHIAS;FRANZKE, JOERG;SCHWECKENDIEK, JUERGEN
分类号 B65G49/04;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/673;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00;H01L21/68 主分类号 B65G49/04
代理机构 代理人
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