以化学气相沉积制备有精确折射率分布的预成形物的方法

摘要

本发明涉及涂覆玻璃层的方法，其中使用反应性气体混和通过化学气相沉积技术(CVD)在基体管件内部涂覆掺杂或不掺杂玻璃层，以便得到显示确切规定折射率分布的预成形物，该方法包括许多步骤。

主权项

1.一种涂敷玻璃层的方法，它通过使用反应性气体混和化学气相沉积技术在基体管内部涂覆任选掺杂的玻璃层，以得到显示精确规定折射率分布的预成形物，其特征在于所述方法包括以下步骤：a)决定待制备的预成形物所要求的折射率分布，b)精确调节制备目标预成形物反应气体混和物的组成和供给速率两者，使其与步骤a)决定的折射率分布相一致，c)在步骤b)调节的条件下将反应气体混和物引入基体管并在其内进行反应，以便完成基体管内部成玻璃氧化物的沉积，d)对步骤c)沉积工艺得到的预成形物进行折射率分布的测量，e)将步骤a)决定的折射率分布与步骤d)测量的折射率分布进行对比，f)通过改变反应气体混和物组成与时间的关系以适应后续沉积工艺来纠正步骤e)中测量折射率分布的差别。