通用模块化晶片输送系统

摘要

本发明涉及一种用于在隔离环境内、在多个室之间输送单个晶片的晶片输送系统。在一个实施例中，一个晶片由一个晶片穿梭件输送，晶片穿梭件在一个晶片输送容器内运行。晶片输送容器内部与晶片加工设备周围的大气环境相隔离。这样，单个晶片可以在整个晶片加工设备中输送，无需使整个设备保持一种洁净室环境。晶片穿梭件可以采用各种技术、例如(但不限于)磁悬浮或气垫技术进行推进。晶片穿梭件也可以同时输送多个晶片。输送容器内部也可以是真空的、充气的或充入过滤空气。

主权项

1.一种晶片输送系统，用于在加工工位之间输送晶片，这种输送系统包括：一个晶片输送装置；一个晶片输送容器，具有多个导轨，所述晶片输送装置可以沿导轨运行；一个过渡室，位于加工工具和所述晶片输送容器之间，包括一个隔离阀；一个驱动装置，用于控制所述晶片输送装置沿所述导轨的运动。