晶片机

摘要

本发明涉及一种用于传递晶片的晶片机。该晶片机包括用于沿x轴移动晶片的线性驱动器、用于绕一θ轴转动晶片的旋转驱动器、用于沿z轴移动晶片的线性驱动器、以及用于沿一径向轴移动晶片的线性驱动器。用于沿z轴移动晶片的线性驱动器偏离于旋转驱动器。当旋转驱动器绕θ轴转动时，Z轴和径向轴驱动器也绕θ轴转动。优选地，用于沿一径向轴移动晶片的线性驱动器是一种具有上末端执行器以及下末端执行器的双向或快速交换滑动体机构。该滑动体机构优选还具有用于校准晶片的装置以及执行各种检测和标记工序的装置。

主权项

1.一种用于移动半导体晶片及相关基片状物体的装置，包括：线性驱动器，沿x轴线性移动；旋转驱动器，自所述线性驱动器起延伸且安装在所述线性驱动器上，用于绕θ轴转动；z轴线性驱动器，自所述旋转驱动器起延伸且安装在所述旋转驱动器上，其沿z轴线性移动，所述z轴偏离且基本上平行于所述θ轴；以及径向驱动器，自所述z轴线性驱动器起延伸且安装在所述z轴线性驱动器上，其具有一种末端执行器。