Verfahren zum Herstellen eines integrierten Fingerabdrucksensors sowie Sensorschaltungsanordnung und Einspritzanordnung

摘要

Erläutert wird unter anderem ein Verfahren zum Herstellen eines Fingerabdrucksensors mit schmutzabweisender Schutzschicht. Zum Aufbringen der Schutzschicht wird ein Verfahren eingesetzt, bei dem ein Ausgangsmaterial für die Schutzschicht in einen Spalt zwischen einem Substrat des Sensors und einer Druckplatte eingespritzt wird, siehe Verfahrensschritt (112). Auf diese Weise lassen sich stark schmutzabweisende Schutzschichten ohne Fototechnik und ohne Schleifprozesse strukturieren.