用于在杆状预制件的外表面上沉积玻璃层的方法和装置

摘要

本发明涉及一种用于在杆状玻璃预制件的外表面上沉积一层或多层玻璃层的方法，该方法包括以下步骤：i)将该预制件置于封闭空间中；ii)在该封闭空间中产生低于大气压的压力；iii)向该封闭空间供给一种或多种掺杂质或不掺杂质的反应性气体；iv)在该封闭空间中产生等离子体区域；和v)进行沉积反应。

主权项

1.一种用于在杆状玻璃预制件的外表面上沉积一层或多层玻璃层的方法，该方法包括以下步骤：i)将该预制件置于封闭空间中；ii)在该封闭空间中产生低于大气压的压力；iii)向该封闭空间供给一种或多种掺杂质或不掺杂质的反应性气体；iv)在该封闭空间中产生等离子体区域；和v)进行沉积反应；其特征在于，通过将该预制件固定在两个微波器件之间来实施步骤i)，其中该预制件用作介质波导件，该微波器件以这样的方式被驱动，即，依据步骤v)，一层或多层具有同心层结构的玻璃层形成在预制件的外表面上。