Verfahren zum Freilegen einer oberen Stegfläche eines auf der Oberfläche eines Substrats ausgebildeten und mit einem Material umformten schmalen Steges im Mikrometerbereich und Anwendung eines solchen Verfahrens zur Kontaktierung schmaler Stege,申请号DE19944434891-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zum Freilegen einer oberen Stegfläche eines auf der Oberfläche eines Substrats ausgebildeten und mit einem Material umformten schmalen Steges im Mikrometerbereich und Anwendung eines solchen Verfahrens zur Kontaktierung schmaler Stege
摘要
申请公布号	DE4434891(B4)	申请公布日期	2005.01.05
申请号	DE19944434891	申请日期	1994.09.29
申请人	INFINEON TECHNOLOGIES AG	发明人	LAUTERBACH, CHRISTL
分类号	G02B6/136;H01L21/768;H01L31/0224;(IPC1-7):H01L21/768	主分类号	G02B6/136
代理机构		代理人
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