发明名称 |
用于电解处理系统的分段式对向电极 |
摘要 |
为了平整化电解处理由非导电材料制成且具有极薄基板金属层6、8的工件9,一种根据本发明方式执行的装置包括:用于使处理液接触工件9的构件,用于在接触点及对向电极5.x电接触工件9的构件10,对向电极配置成与工件9相对,由此将各个对向电极5.x细分为至少二电极区段13.x,以便提供至少一近接触电极区段13.1及至少一远接触电极区段13.4,并可能地在它们之间配置的其它电极区段13.2、13.3,且各电极区段13.x由分开的电流源15.x馈入。 |
申请公布号 |
CN1561409A |
申请公布日期 |
2005.01.05 |
申请号 |
CN02816451.2 |
申请日期 |
2002.08.21 |
申请人 |
埃托特克德国有限公司 |
发明人 |
埃贡·许贝尔 |
分类号 |
C25D21/12;C25D17/12;H05K3/24 |
主分类号 |
C25D21/12 |
代理机构 |
永新专利商标代理有限公司 |
代理人 |
张浩 |
主权项 |
1、一种用于工件电解处理的装置,包括用于使处理液接触工件的构件,用于在接触处及对向电极电接触工件的横件,该对向电极配置成使工件与这些对向电极相对,其特征在于,各个对向电极(5.x)被细分成至少二个电极区段(13.x),而提供至少一近接触电极区段(13.1)及至少一远接触电极区段(13.4),并可能地提供配置在它们之间的其他电极区段(31.2,13.3),由此各电极区段(13.x)由一分开的电流源(15.x)馈入。 |
地址 |
德国柏林 |