用于液滴沉积装置的元件及其制造方法

摘要

一种适合在液滴沉积装置中使用的元件，包括具有顶表面和与一个底板相连的底表面的压电本体，所述压电本体具有多个从所述顶表面延伸进入所述压电本体的上槽和相应的从所述压电本体的底表面延伸进入压电本体的多个下槽；其特征在于，所述的槽具有这样的深度，使得在至少一个上槽和相应的下槽之间具有连接。

主权项

1.一种适合在液滴沉积装置中使用的元件，包括具有顶表面和与一个底板相连的底表面的压电本体，所述压电本体具有多个从所述顶表面延伸进入所述压电本体的上槽和相应的从所述压电本体的底表面延伸进入压电本体的多个下槽；其特征在于，所述的上槽具有这样的深度，使得在至少一个上槽和相应的下槽之间具有连接。