发明名称 白光双视场剪切波面干涉仪
摘要 一种白光双视场剪切波面干涉仪,包括:平行放置的输入光学平行平板和第一、第二输出光学平行平板,在所述输入光学平行平板和第一输出光学平行平板之间设置有第一、第二楔形平板,在输入光学平行平板和第二输出光学平行平板之间设置有第三第四楔形平板,在所述的第一输出光学平行平板的光束的输出方向设置第一观察屏,在第二输出光学平行平板的光束的输出方向设置第二观察屏。本发明适合于相干长度较小、波差小于一个波长和衍射极限的激光波面的精密测量,而且使用方便。测量范围为口径内最大波差0.2~1λ。
申请公布号 CN1560576A 申请公布日期 2005.01.05
申请号 CN200410016727.5 申请日期 2004.03.04
申请人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明人 徐荣伟;刘立人;栾竹;刘宏展
分类号 G01J9/00;G01J9/02 主分类号 G01J9/00
代理机构 上海新天专利代理有限公司 代理人 张泽纯
主权项 1、一种白光双视场剪切波面干涉仪,特征在于其构成包括:平行放置的输入光学平行平板(1)、第一输出光学平行平板(2)和第二输出光学平行平板(3),四块结构相同的楔形平板(4、5、6、7、),两个观察屏(8、9),在输入光学平行平板(1)和第一输出光学平行平板(2)之间设置有第一楔形平板(4)和第二楔形平板(5),以顺时针方向为正,第一楔形平板(4)的入射角为-θ,输入面法线到输出面法线的夹角为α;则第二楔形平板(5)的入射角为θ,输入面法线到输出面法线的夹角为-α;在输入光学平行平板(1)和第二输出光学平行平板(3)之间设置有第三楔形平板(6)和第四楔形平板(7),以顺时针方向为正,楔形平板(6)的入射角为-θ,输入面法线到输出面法线的夹角为-α;则楔形平板(7)的入射角为θ,输入面法线到输出面法线的夹角为α;在第一输出光学平行平板(2)的光束的输出方向设置第一观察屏(8),在第二输出光学平行平板(3)的光束的输出方向设置第二观察屏(9),待测波面的波高W由下列公式计算:<math> <mrow> <mi>W</mi> <mo>=</mo> <mfrac> <msup> <mi>&lambda;R</mi> <mn>2</mn> </msup> <mrow> <mn>4</mn> <mi>S</mi> </mrow> </mfrac> <mfrac> <mrow> <msub> <mi>T</mi> <mn>1</mn> </msub> <mo>-</mo> <msub> <mi>T</mi> <mn>2</mn> </msub> </mrow> <mrow> <msub> <mi>T</mi> <mn>1</mn> </msub> <msub> <mi>T</mi> <mn>2</mn> </msub> </mrow> </mfrac> </mrow> </math> 式中:λ为入射光波长,R为入射光束半径,T1为观察屏(8)上干涉条纹宽度,T2为观察屏(9)上干涉条纹宽度,S为光束通过楔形平板后垂直于光轴方向的侧向位移,当待测波面为发散球面波时,W为正,对应的T1>T2;当待测波面为会聚球面波时,W为负,对应的T1<T2。
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