| 发明名称 |
Integrierter akustischer Dünnfilmresonator |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69922311(D1) |
申请公布日期 |
2005.01.05 |
| 申请号 |
DE19996022311 |
申请日期 |
1999.09.09 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS |
发明人 |
YUAN, HAN-TZONG |
| 分类号 |
H01L21/822;H01L27/04;H03B5/30;H03H3/02;H03H9/17;(IPC1-7):H03H9/00;H03B5/36 |
主分类号 |
H01L21/822 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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