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发明名称 Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks, um wenigstens eine seiner Eigenschaften zu modifizieren
摘要
申请公布号 DE10392216(T5) 申请公布日期 2005.01.05
申请号 DE20031092216T 申请日期 2003.01.15
申请人 BRUEL, MICHEL 发明人 BRUEL, MICHEL
分类号 C23C14/48;H01L21/762;(IPC1-7):C23C14/48 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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