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发明名称 PRODUCING METHOD AND PRODUCING DEVICE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5216179(A) 申请公布日期 1977.02.07
申请号 JP19750092367 申请日期 1975.07.29
申请人 SHIN NIPPON DENKI KK 发明人 KACHI MASAO;NAKAJIMA MASAHIRO
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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