压力传感器和压力测定装置

摘要

本发明提供的压力传感器不会对压力传感器的其他特性有大的影响，也不会防碍小型化，而可以精确控制压力传感器对压力变化的响应特性。本发明在压力传感器主体一侧基板22的上表面设置有凹陷下去的压力检测腔23、导压通路25及缓冲空间24，用薄膜片31覆盖在压力检测腔23的上面，同时用遮盖基板30覆盖在导压通路25和缓冲空间24上面。在主体一侧基板22下面设压力导入部位26，其缓冲空间24的下面相连。缓冲空间24的断面比压力导入部位26的断面大，且缓冲空间24的容积比导压通路25的容积大。

主权项

1.一种压力传感器，其传感器主体上形成薄膜片和与薄膜片连接的压力检测用空隙，是根据薄膜片的挠曲量检测导入此压力检测用空隙压力的压力传感器，其特征为：上述传感器主体上形成的压力导入部位与上述压力检测用空隙连接，从此压力导入部位把压力导入上述压力检测用空隙的导压通路形成在上述传感器主体上，在上述的导压通路的一部分上，形成一个比此导压通路和上述压力检测用空隙及上述压力导入部分相连接部分的开口面积的断面面积大的缓冲空间。