| 主权项 |
1.一种形成在基材上的高电感和高品质因子的多层螺旋电感器结构，应用于射频电路，采用m个导电层的多层集成电路的内连线技术，其中m是一个大于4的自然数包括：一第一隔离层，形成在该电感结构的该基材上；一第一金属层作为一导电横跨下方线配置在该第一隔离层，然后，第二隔离层形成在该第一隔离层上及该第一金属层上；一具有N1圈之第一层螺旋线圈，是由一第二金属层所形成，且配置在该第二隔离层上与该第一阶层金属横跨线上方，然后，第三隔离层形成在该第二隔离层上及该第二金属层上；一具有N2圈的第二层螺旋线圈，是由一第三金属层所形成，配置在该第三隔离层上位于该第一层螺旋线圈上方而且以反射与旋转变换相对于第一层螺旋线圈中心旋转一角度，然后，第四隔离层形成在该第三隔离层上及该第三金属层上；一具有N3圈的第三层螺旋线圈，是由一第四金属层所形成，配置在该第四隔离层上位于该第二层螺旋线圈上方而且以反射与旋转变换相对于第二层螺旋线圈中心旋转一角度，然后，第五隔离层形成在该第四隔离层上及该第四金属层上；该第一层螺旋线圈的一边缘端藉由一第一介层窗插塞与该第二层螺旋线圈的一边缘端相连接而且该第二层螺旋线圈的一中心端藉由一第二介层窗插塞与该第三层螺旋线圈的一中心端相连接，其中N1、N2、N3是自然数，而不小于3，且该导电横跨下方线被连接在一第一金属垫及该第一层螺旋线圈之间，因此，该第一、该第二及该第三层螺旋线圈所含的电流流动方向是相同的。 |
