一种音叉式微机械陀螺及其制作方法

摘要

本发明涉及一种音叉式微机械陀螺及其制作方法。微机械陀螺主它是由第一基板及其上的四组驱动用条形固定对电极和两组检测用条形固定对电极、固定在第一基板上的中间锚点和两侧锚点、悬在第一基板上方的第二基板组成；第二基板包括可沿驱动方向振动的两个结构相同且对称的驱动质量块、中间锚点与驱动质量块相连接的第一弹性梁、两侧锚点与驱动质量块相连接的第二弹性梁、连接两个驱动质量块的耦合弹性梁、可沿垂直于驱动方向的检测方向振动的两个检测质量块、检测质量块与驱动质量块之间的连接弹性梁组成。本陀螺采用微电子机械系统技术制作，采用变面积电容实现驱动和检测，驱动和检测方向均具有滑膜阻尼，灵敏度较高，是一种实用的微机械陀螺。

主权项

1.一种音叉式微机械陀螺，其特征在于：(A)它是由第一基板(1)及其上的四组驱动用条形固定对电极(1a、1b)和两组检测用条形固定对电极(2a、2b)、固定在第一基板上的中间锚点(4)和两侧锚点(5)、悬在第一基板(1)上方的第二基板(12)组成；(B)第二基板主要包括可沿驱动方向振动的两个结构相同且对称的两个驱动质量块(2)、中间锚点(4)与驱动质量块相连接的第一弹性梁(6)、两侧锚点(4)与驱动质量块(2)相连接的第二弹性梁(7)、连接两个驱动质量块的耦合弹性梁(3)、可沿垂直于驱动方向的检测方向振动的两个检测质量块(8)、检测质量块(8)与驱动质量块(2)之间的连接弹性梁(9)组成；(C)第一基板上的两组检测用条形固定对电极(2a、2b)分别在前两组驱动用条形固定对电极(1a、1b)之间和后两组驱动用条形固定对电极(1a、1b)之间；